ISPConfig apache streikt nache ssl Erstellung für website

Hallo,
ich teste gerade ISPConfig und wollte ein ssl Zertifikate für eine Webseite erstellen. Danach ist aber der apache abgestürzt und lässt sich auch nciht mehr neustarten:
Hier ist das apache error log file:

[Fri Jan 27 12:00:26 2012] [error] [client ] client denied by ser$
[Fri Jan 27 12:00:30 2012] [error] [client ] client denied by ser$
[Fri Jan 27 12:00:30 2012] [error] [client ] client denied by ser$
[Fri Jan 27 12:01:02 2012] [notice] caught SIGTERM, shutting down
[Fri Jan 27 12:01:03 2012] [warn] RSA server certificate is a CA certificate (B$
[Fri Jan 27 12:01:03 2012] [notice] suEXEC mechanism enabled (wrapper: /usr/lib$
[Fri Jan 27 12:01:03 2012] [notice] Digest: generating secret for digest authen$
[Fri Jan 27 12:01:03 2012] [notice] Digest: done
[Fri Jan 27 12:01:03 2012] [warn] RSA server certificate is a CA certificate (B$
$d/2.3.6 PHP/5.3.3-7+squeeze3 with Suhosin-Patch mod_ruby/1.2.6 Ruby/1.8.7(2010$
[Fri Jan 27 12:13:02 2012] [notice] caught SIGTERM, shutting down

Kann mir mal bitte jemand helfen und sagen wie ich den apache wieder zum Laufen bekomme?